1、直線活動(dòng)的反向誤差檢查

反向誤差的檢查辦法是在所測(cè)坐標(biāo)軸的行程內(nèi)，預(yù)先向正向或反向移動(dòng)一個(gè)距離并以此阻止方位為基準(zhǔn)，再在統(tǒng)一傾向賜與必定移動(dòng)指令值，使之移動(dòng)一段距離，然后再往相反傾向移動(dòng)相同的距離，測(cè)量阻止方位與基準(zhǔn)方位之差。在接近行程的中點(diǎn)及兩端的三個(gè)方位別離舉辦屢次測(cè)定（相同一般為7次），求出各個(gè)方位上的均勻值，以所得均勻值中的最大值為反向誤差值。

直線活動(dòng)的反向誤差，也叫矢動(dòng)量，它包含該坐標(biāo)軸進(jìn)給傳動(dòng)鏈上驅(qū)動(dòng)部位（如伺服電動(dòng)機(jī)、伺趿液壓馬達(dá)和步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等）的反向逝世區(qū)，各機(jī)器活動(dòng)傳動(dòng)副的反向空隙和彈性變形等誤差的歸納反應(yīng)。誤差越大，則定位精度和重復(fù)定位精度也越低。

2、回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的重復(fù)分度精度檢查

要是是數(shù)控回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)，要以每30取一個(gè)測(cè)量點(diǎn)作為意圖方位，別離對(duì)各意圖方位從正、反兩個(gè)傾向舉辦5次疾速定位，測(cè)出實(shí)際抵達(dá)的方位與意圖方位之差值，登基置誤差，再按GB10931-89劃定的辦法盤算出標(biāo)準(zhǔn)誤差，各測(cè)量點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)誤差中最大值的6倍，就是數(shù)控回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的重復(fù)分度精度。

測(cè)量辦法是在回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的一星期內(nèi)任選三個(gè)方位重復(fù)定位3次，別離在正、反傾向滾動(dòng)下舉辦檢查。悉數(shù)讀數(shù)值中與相應(yīng)方位的理論值之差的最大值分度精度。

為了反應(yīng)出屢次定位中的悉數(shù)誤差，ISO標(biāo)準(zhǔn)劃定每一個(gè)定位點(diǎn)按五次測(cè)量數(shù)據(jù)算均勻值和散差 -3散差帶構(gòu)成的定位點(diǎn)散差帶。

4、回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度檢查

要是是數(shù)控回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)，應(yīng)以每30為一個(gè)意圖方位，抵擋每個(gè)意圖方位從正、反兩個(gè)傾向舉辦疾速定位7次，實(shí)際抵達(dá)方位與意圖方位之差登基置誤差，再按GB10931-89《數(shù)字控制車床方位精度的評(píng)定辦法》劃定的辦法盤算出均勻方位誤差和標(biāo)準(zhǔn)誤差，悉數(shù)均勻方位誤差與標(biāo)準(zhǔn)誤差的最大值和與悉數(shù)均勻方位誤差與標(biāo)準(zhǔn)誤差的最小值的和之差值，就是數(shù)控回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度誤差。

測(cè)量東西有標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)臺(tái)、視點(diǎn)多面體、圓光柵及平行光管（準(zhǔn)直儀）等，可憑證具體環(huán)境選用。測(cè)量辦法是使工作臺(tái)正向（或反向）轉(zhuǎn)一個(gè)視點(diǎn)并阻止、鎖緊、定位，以此方位作為基準(zhǔn)，然后向同傾向疾速滾動(dòng)工作臺(tái)，每隔30鎖緊定位，舉辦測(cè)量。正向轉(zhuǎn)和反向轉(zhuǎn)各測(cè)量一星期，各定位方位的實(shí)際轉(zhuǎn)角與理論值（指令值）之差的最大值為分度誤差。

檢查用的儀器與檢查定位精度所用的相同。相同一般檢查辦法是在接近各坐標(biāo)行程中點(diǎn)及兩端的任意三個(gè)方位舉辦測(cè)量，每個(gè)方位用疾速移動(dòng)定位，在相同條件下重復(fù)7次定位，測(cè)出阻止方位數(shù)值并求出讀數(shù)最大差值。以三個(gè)方位中最大一個(gè)差值的二分之一，附上正負(fù)符號(hào)，作為該坐標(biāo)的重復(fù)定位精度，它是反應(yīng)軸活動(dòng)精度穩(wěn)固性的最底子目標(biāo)。

6、回轉(zhuǎn)展轉(zhuǎn)工作臺(tái)的原點(diǎn)復(fù)歸精度檢查
測(cè)量辦法是從7個(gè)任意方位別離舉辦一次原點(diǎn)復(fù)歸，測(cè)定其阻止方位，以讀出的最大差值作為原點(diǎn)復(fù)歸精度。

7、直線活動(dòng)的原點(diǎn)返回精度檢查
原點(diǎn)返回精度，實(shí)質(zhì)上是該坐標(biāo)軸上一個(gè)格外點(diǎn)的重復(fù)定位精度，因而它的檢查辦法徹底與重復(fù)定位精度相同。